蔡司掃描電鏡ORION NanoFab離子束掃描電子顯微鏡擁有納米加工和成像引擎 - 配有集成軟、硬件的控制系統(tǒng)。
  納米圖形發(fā)生器（NPVE）為每個(gè) NanoFab 鏡筒提供了一臺(tái) 16 位掃描圖形發(fā)生器，以及支持實(shí)時(shí)圖案加工和成像的雙信號(hào)采集硬件。
  通過圖形化用戶界面（GUI）完全控制離子束：可創(chuàng)建一系列可編輯的形狀，如矩形、梯形、多邊線、直線、折線、橢圓及點(diǎn)。
  然后，對(duì)這些形狀進(jìn)行矢量切割，并通過劑量和加工參數(shù)的調(diào)節(jié)進(jìn)行完全的過程控制。